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产品名称:XYZ直线电机滑台
产品概要:
-- 直线轴XYZ纳米级定位精度;
-- 精密交叉滚柱导轨。
-- 主体铝合金材质
产品精度:
-- XY轴重复精度±100nm
-- Z轴重复精度±200nm
产品名称:XYθ平台
产品概要:
-- 直线轴XY+旋转轴θ电机平台;
-- 小行程精密运动场合;
产品精度:
-- XY轴重复精度±0.5μm
-- θ旋转轴精度±2.5arcsec
产品名称:耦合平台
产品概要:
-- 直线轴XYZ+旋转轴ABC共6轴电机平台;
-- 适用光纤耦合;
产品精度:
-- XYZ轴重复精度0.3μm
-- ABC旋转轴重复精度±1.5arc sec
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